工業高純水設備可以將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率約10～18.3MΩ.cm極限值。超純水,是一般純水設備很難達到的程度，通常采用預處理、反滲透技術、高純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換(拋光)、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ.cm。

　　工業高純水設備用途:超純水水質分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

　　工業高純水設備的應用領域

　　比較近幾年電去離子在各個工業領域都越來越受重視，許多工業系統開始采用電去離子作為其水處理系統的更新換代技術，如電力工業、制藥工業、微電子工業、電鍍與金屬表面處理等。

　　(1)電力工業

　　據推算電力行業水處理單元的操作費用約占電力成本的10%，而用電去離子替代離子交換樹脂可以使每處理1000加侖水的成本由11美元降至1.75美元。

　　(2)制藥工業

　　雖然藥用水的特點是并不要求很高的去離子程度，但電去離子系統具有同時去鹽和控制微生物指標的特點，因此已有多家企業采用RO/EDI集成系統。據稱該類系統性能穩定，全流程計算機連續監控，全自動操作無人值守。

　　(3)電子工業

　　電子工業對水質的要求極高，水電阻率要穩定的大于18MΩ,而EDI出水一般在15-17MΩ左右，因此在電子級水的生產過程多采用EDI+拋光樹脂系統，即在EDI之后加離子交換，此工程雖然仍需離子交換，但由于EDI已除去了大部分離子，拋光樹脂幾乎不用再生，因此水處理費用仍然很低。

　　(4)電鍍與金屬表面處理

　　電去離子可用于電鍍廢水處理可以使水重復使用并回收重金屬離子。

　　(5)其他領域

　　電去離子在食品工業、化學工業等都有很廣泛的應用：多室流化床、設備的橫截面一般為矩形，用垂直擋板將設備沿長度方向分成多室(一般4～8室)。擋板下沿與分布板面之間留有幾十毫米的間隙，作為室間粉粒通道。比較后一室有控制床面的堰板。流體平行進入各室，顆粒則依次通過各室，因此多室流化床不僅能抑制顆粒在整個床層內的返混，而且還能調節通入各室流體的流速和溫度。多室流化床比多層流化床設備容易控制，總壓降也小;但傳熱、傳質推動力較多層床小，用于干燥時空氣熱量利用效率較差。 兩器流化床 有兩個流化床，在左側流化。

　　工業高純水設備工藝流程

　　1、采用離子交換方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

　　2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透 →PH調節→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

　　3、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

　　工業高純水設備水質標準

　　出水水質完全符合我國電子工業部電子級水質技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準。